Logosol,预对准器,LPA,独立式,嵌入式,边缘处理,快速更换,Logosol的经过时间考验的技术和高可靠性标准是行业中最广泛的预对准器系列的基础。预对准器产品系列支持处理从45毫米到480毫米的对象，具有任何透明度水平，从不透明到完全透明。Logosol独特的一体化设计和多功能控制软件使其能够与各种半导体平台实现即插即用的兼容性和接口。
独立式
自主设备，用于对45毫米至480毫米的对象进行高精度对准，包括正方形和双层基板，具有单元处理多种尺寸对象而无需机械重新定位、夹具负载和销负载模式以及高精度选项。
嵌入式
用于高速晶圆传输系统的成本效益的中心计算和角度定位设备，具有45毫米至480毫米对象的对准能力，并可轻松与市场上可用的任何机器人进行集成。提供高精度和夹具尺寸/材料选项。
边缘处理
创新的自主设备，采用零夹持力的被动边缘接触技术，是Logosol边缘夹持预对准器技术的替代方案，确保在处理75毫米至300毫米对象时，晶圆不受应力影响，保持最大的清洁度。提供标准和高精度型号。
快速更换
高吞吐量的预对准器，具有基于专有设计的快速更换功能，允许在销针水平以下进行晶圆夹具装载。
Logosol广泛的预对准器产品系列的基础是一项我们在内部设计和开发的技术，涵盖了从硅制品和机械设计到运动控制和软件的各个方面。这种垂直整合，加上我们30年来为各种应用开发了大量预对准器的经验，使我们能够为那些标准型号无法满足其规格要求的客户提供解决方案。
订单指南
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