高吞吐量的预对准器，具有基于专有设计的快速更换功能，允许在销针水平以下进行晶圆夹具装载。
Logosol LPA12FS-3描述：
创新型高性能一体化设计，取消了外部控制器和互连电缆，同时保持即插即用兼容性。
基于专有设计的快速更换功能，可实现晶圆卡盘在针脚下方的装载。
先进的扫描电子系统，能够在不同晶圆尺寸之间无需机械重新定位即可检测透明、半透明和不透明的物体。
运动控制软件提供全面的常用命令集，实现与多种半导体平台的兼容性和接口对接。
典型对准循环时间小于五秒，有助于实现系统的最大产能。
Logosol LPA12FS-3规格：
晶圆直径：300mm
晶圆不透明度：透明、半透明、不透明
方形基片：有限
晶圆处理方式：真空卡盘与被动针脚
居中精度：在预对准卡盘上 ±25 μm
角度精度（3 Sigma）：
10000 CPR 编码器：在预对准卡盘上 ±0.04°
24000 CPR 编码器：在预对准卡盘上 ±0.02°
伺服轴数：三轴
主机通讯接口：RS232，Ethernet
最大初始晶圆偏移：12 mm
机身尺寸（宽 × 长 × 高）：173 mm × 317 mm × 229 mm
占地兼容型号：LPA312-3、LPA1218-3、LPA8ET-3、LPA12ET-3
重量：5.90 kg
所需设施：100–240 VAC，50/60 Hz，48 VA，或 24 VDC / 2A
真空：12 英寸汞柱（12″ Hg）
平边/缺口兼容性：符合 SEMI 标准
洁净度等级：Class 1
平均无故障时间（MTBF）：超过 70,000 小时
Logosol LPA12FS-3尺寸：
https://www.bihec.com/logosol/代理Logosol LPA12FS-3晶圆预对准器,晶圆寻边台,晶圆寻边器,Logosol LPA系列晶圆校准器/
