LPA38-1E特征：
-创新型高性能一体化设计，取消了外部控制器及互连电缆，同时保持即插即用的兼容性。
-采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳且快速的响应。
-先进的扫描电子技术，能够检测透明、半透明及不透明物体，并且无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位。
-运动控制软件提供完整的常用指令集，支持与多种半导体平台的兼容与接口对接。
-典型对准周期时间小于四秒，有助于实现系统最大吞吐量
LPA38-1E 技术规格：
晶圆直径：3″, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm
晶圆透明度：透明的，半透明的，不透明的
方形基板：适用的
晶圆处理能力：真空卡盘
定心精度：预对准卡盘上的±50um
角度精度 (3 Sigma)：
10000 CPR 编码器：预对准卡盘上的±0.06°
24000 CPR 编码器：预对准卡盘上的±0.04°
伺服轴数：无
主机通信接口：RS232, 以太网
最大初始晶圆偏移量：10mm
本体尺寸（宽×长×高）：95mm x 266mm x 191mm
安装占地兼容性：LPA25-1E, LPA58-1E, LPA312-1E, LPA812-1E, LPA1218-1E
重量：3.50kg
配套设施要求：100-240VAC，50/60Hz，48VA，或24VDC/2A，真空度 12 英寸汞柱
平边/缺口兼容性：符合 SEMI 标准
洁净度要求：1级
平均无故障时间（MTBF）：超过 70000 小时
LPA38-1E 外观尺寸：
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