LPA12FS-3 快速交换预对准器
高通量预对准器具有基于专有设计的快速交换功能，允许在引脚水平以下加载晶圆卡盘。
创新、高性能、一体化设计摒弃了外部控制器和连接线缆，同时仍保持可即插即用的兼容性。
基于专有设计的快速切换功能，该功能能够..对于低于引脚高度的晶圆夹具装载操作
先进的扫描电子设备，能够检测透明、半透明和不透明的物体，且无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位。
具有全面常用指令集的运动控制软件，能够实现与多种半导体平台的兼容性及接口连接。
典型的对齐周期时间不到五秒，这有助于实现系统的最大吞吐量。
