美国Logosol,LPA6EH-3 边缘处理预对准器,150毫米晶圆的独立边处理预对准装置,用于150毫米晶圆的减少接触边缘处理预对准器
LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE
用于150毫米晶圆的减少接触边缘处理预对准器 对齐能力：标准150毫米晶圆 150毫米平面、透明和半透明基板
接触区：边缘接触，点宽1毫米
减少接触边缘处理的预对准器可以容忍更大的初始偏移量（最大可达6毫米）
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LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE
用于150毫米晶圆的减少接触边缘处理预对准器 对齐能力：标准150毫米晶圆 150毫米平面、透明和半透明基板
接触区：边缘接触，点宽1毫米
减少接触边缘处理的预对准器可以容忍更大的初始偏移量（最大可达6毫米）