UHV表面科研系统:多探针分析系统

除了表面分析组件外,LK Technologies还专门设计和构建完整的特高压系统,这些系统通常结合了LK组件和其他制造商的多种表面分析方法。

这些系统的常见元件是精密UHV室,主泵(通常是离子泵),辅助泵(通常是涡轮分子),精密样品操纵器,安装框架和真空计量。客户通常要求的可选组件是快速样品引入系统(加载锁定)和烘烤控制。

请联系LK获取更多信息,并讨论您的自定义系统要求。多探针分析系统是全球实验室提供的一个例子:

多探针分析系统,包括XPS分析,X射线单色仪,半球形分析仪,AES,ISS,多通道HREELS和带有快速样品加载系统的完整样品制备室。


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