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EGH-8103 / EGPS-8103
能量范围： 10 keV 至 100keV
射束电流/光斑尺寸：
标准：10 nA 至 100 µA/标准：60 µm 至 10 mm
高电流：10 nA 至 1 mA/高电流：500 µm 至 10 mm
安装方式： 6CF 安装
特性/选项：操作时可调节对准、静磁聚焦和偏转、磁透镜、脉冲
