产品概述
Kimball Physics EGH-8201 电子枪及其配套的 EGPS-8201 电源，是一个完整的子系统，安装到用户的真空系统后即可直接使用。该电子枪可在极宽的能量、电流和功率范围内输出电子束，适用于空间材料测试、辐射研究、半导体研究、X射线产生及等离子体激发等高电流脉冲应用。
性能特点
阴极类型：难熔金属盘阴极，产生高能量、高电流、可聚焦的电子束
独立调节：束流能量和束流电流均可在宽范围内独立调节
能量范围：10 keV 至 100 keV
电流范围：10 nA 至 1 mA（连续），脉冲模式下可达 20 mA
电子束脉冲：通过控制栅极输入信号实现脉冲调制
可调光学系统：适应不同的发散角和工作距离
束斑尺寸：1 mm 至 100 mm 可调
磁聚焦与磁对中偏转：实现低像差束流控制
阴极-阳极间距：内部可调，用于改变导流系数
实时对准功能
该枪配备可调阴极馈入组件，允许在电子枪于束流开启状态下实时进行发射单元相对于阳极及电子光柱的机械对准。
真空与烘烤要求
整枪采用超高真空（UHV）技术制造，可在 10−11 Torr 至 10−6 Torr 的真空范围内运行。拆除电缆后，电子枪可烘烤至 200°C（受限于磁聚焦与偏转线圈）。源区单独可烘烤至 350°C。
阴极特性
EGH-8201 通常采用高电流、坚固耐用的氧化钇涂层铱盘阴极（Y₂O₃-Ir）。该阴极在冷态下不会因反复暴露于大气或水蒸气而损坏，并且可承受短暂的意外真空失效。
差动泵送与安装
电子枪设计支持源区的差动泵送：
4.5 英寸 CF 法兰：用于连接涡轮分子泵
2.75 英寸 CF 法兰：用于连接电离规
电子枪通常安装在 6.0 英寸 CF 法兰上，具有零插入深度（即不伸入真空腔体内部）。由于 EGH-8201 产生的高功率电子束，X射线屏蔽是必要的。
可更换组件与维修
发射单元无需将整枪从真空腔体中拆下即可由用户更换。可购买新的备用发射单元，旧发射单元可返回工厂进行翻新。此外，整支电子枪也可返回工厂进行全面清洗、翻新、阴极更换及可选的真空内测试。还可提供多种独立式法拉第杯设计。
EGPS-8201 电源系统
EGH-8201 的电源系统由两个独立单元组成：
EGPS-8201 电子枪电源
高压从属单元（由 EGPS-8201 控制）
EGPS-8201 采用模块化设计，包含小型化电源集群、光隔离信号以及 FlexPanel 数字接口控制器。内置电源包括：束流能量、磁透镜、磁 X/Y 偏转，以及浮地源/发射电流控制（ECC）、栅极和第一阳极电源。
FlexPanel 数字接口
FlexPanel 提供数字显示屏和前面板键盘，用于编程控制。后面板接口支持所有枪体电源的远程/计算机控制与监测。标准电源单元配备 RS-232、RS-422/485 及 mini-USB 串行端口，以及一个模拟输入/输出接口。通过使用相应的数模转换器，可兼容所有常见的计算机接口总线类型。
适用领域
通用真空物理
辐射研究
表面轰击
半导体研究
生物样品辐照
X 射线产生
等离子体激发
荧光研究
功能与选件
高束流电流：连续 1 mA，脉冲模式下高达 20 mA
小束斑尺寸：低至 1 mm
静磁聚焦
静磁偏转（可选）
脉冲功能
运行中内部对准
计算机 / 远程控制
用户可更换的发射单元
