EFG-7 / EGPS-2017
能量范围： 50 eV 至 5k eV
光束电流： 1 nA 至 100 µA
光斑尺寸： 1 mm 至 100 mm
安装： 2¾CF，可拆卸选项
特性/选项：泛光光束或窄角光束、静电聚焦、偏转、光栅、脉冲
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