EFG-7 / EGPS-1017
能量范围： 10 eV 至 1500 eV
光束电流/光斑尺寸： 1 nA 至 100 µA
光斑尺寸： 1mm 至 100mm
安装： 2¾CF，可拆卸选项
特性/选项：窄角光束或泛光光束、静电聚焦、偏转、光栅、脉动
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光束电流/光斑尺寸： 1 nA 至 100 µA
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特性/选项：窄角光束或泛光光束、静电聚焦、偏转、光栅、脉动
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