Kimball Physics EGH-8100 电子枪与 EGPS-8100 电源
产品概述
Kimball Physics EGH-8100 电子枪及其配套的 EGPS-8100 电源，是一个完整的子系统，安装到用户的真空系统后即可直接使用。该电子枪可在极宽的能量、电流和功率范围内输出电子束，适用于空间材料测试、辐射研究、半导体研究、X射线产生及等离子体激发等应用。
性能特点
独立调节：束流能量和束流电流均可在宽范围内独立调节
能量范围：1 keV 至 100 keV
电流范围：10 nA 至 1 mA（脉冲模式下可达 20 mA）
电子束脉冲：可通过控制栅极输入信号实现脉冲调制
实时对准功能
该枪配备可调阴极馈入组件，允许在电子枪于束流开启状态下实时进行发射单元相对于阳极的机械对准。
真空与烘烤要求
整枪采用超高真空（UHV）技术制造。难熔金属阴极可在 10−11 Torr 至 10−7 Torr 的真空范围内运行。拆除电缆后，电子枪可烘烤至 350°C（选配静磁聚焦选项时最高烘烤温度为 200°C）。
可选阴极类型
提供多种阴极类型与尺寸：
| 阴极类型 | 特性 | 最低真空要求 |
|---|---|---|
| 钽（Ta）盘 | 标准金属阴极 | 10−7 Torr |
| 单晶六硼化镧（LaB₆） | 高亮度 | 1×10−7 Torr |
| 氧化钇涂层铱盘（Y₂O₃-Ir） | 坚固耐用，可承受短暂真空失效 | — |
所有阴极在冷态下不会因反复暴露于大气或水蒸气而损坏。
差动泵送与安装
电子枪设计支持源区的差动泵送：
4.5 英寸 CF 法兰：用于连接涡轮分子泵
三个 2.75 英寸 CF 法兰：用于连接电离规或其他设备
电子枪通常安装在 6.0 英寸 CF 法兰上，具有零插入长度（即不伸入真空腔体内部）。由于 EGH-8100 产生的高功率电子束，X射线屏蔽是必要的。
可更换组件与维修
发射单元无需将整枪从真空腔体中拆下即可由用户更换。可购买新的备用发射单元，旧发射单元可返回工厂进行翻新。此外，整支电子枪也可返回工厂进行全面清洗、翻新、阴极更换及可选的真空内测试。还可提供多种独立式法拉第杯设计。
EGPS-8100 电源系统
EGH-8100 的电源系统由两个独立单元组成：
EGPS-8100 电子枪电源
独立的高压电源（由 EGPS-8100 控制）
EGPS-8100 采用模块化设计，包含小型化电源集群、光隔离信号以及全新的 FlexPanel 数字接口控制器。内置电源包括：束流能量，以及浮地源/发射电流控制（ECC）、栅极和第一阳极电源。
FlexPanel 数字接口
FlexPanel 提供数字显示屏和前面板键盘，用于编程控制。后面板接口支持所有枪体电源的远程/计算机控制与监测。标准电源单元配备 mini-USB、RS-232 或 RS-422/485 串行端口，以及一个模拟输入/输出接口。通过使用相应的数模转换器，可兼容所有常见的计算机接口总线类型。
适用领域
通用真空研究
辐射研究
表面轰击
半导体研究
生物样品辐照
X 射线产生
等离子体激发
荧光研究
功能与选件
束流电流：高达 1 mA（脉冲模式下 20 mA）
脉冲功能
运行中内部对准
用户可更换的发射单元
计算机控制（可选）
