Kimball Physics EGG-3101 电子枪与 EGPS-3101 电源
产品概述
Kimball Physics EGG-3101 电子枪及其配套的 EGPS-3101 电源，是一款多用途模块化电子枪，适用于广泛的应用领域。EGG-3101 / EGPS-3101 是一个完整的子系统，安装到用户的真空系统后即可直接使用。
性能特点
高电流选项：束流电流可高达 1 mA
束流模式：可产生准直小束斑或泛射电子束
独立调节：束流电流、束流能量及束斑尺寸均可在宽范围内独立调节
能量范围：100 eV 至 10 keV
束流电流与束斑尺寸的具体范围取决于系统选项，详见规格参数表。可选功能还包括脉冲调制、束流消隐及光栅扫描。
实时对准功能
该枪配备可调阴极馈入组件，允许在电子枪于满电压、束流开启状态下实时进行发射单元相对于阳极及电子光柱的机械对准。
模块化设计
EGG-3101 的模块化设计允许用户自行更换发射单元组件或透镜组件。发射单元（包含阴极、阴极安装座及韦纳尔特光阑）无需将电子枪从真空腔体中拆下即可由用户更换。阳极也易于更换。此外，阴极与阳极之间的间距可在内部调节，以改变电子束的空间电荷效应或导流系数。
真空与烘烤要求
整枪采用超高真空（UHV）技术制造。标准钽盘阴极可在 10−11 Torr 至 10−5 Torr 的真空范围内运行。拆除电缆后，电子枪可烘烤至 350°C。若安装有法拉第杯及气动执行器，除非将其拆除，否则最高烘烤温度为 65°C。
可选阴极类型
提供多种阴极类型与尺寸：
| 阴极类型 | 特性 | 最低真空要求 |
|---|---|---|
| 钽（Ta）盘 | 标准阴极 | 10−5 Torr |
| 单晶六硼化镧（LaB₆） | 小束斑、高亮度 | 1×10−7 Torr |
| 氧化钡（BaO）盘 | 低发光、低能量展宽 | 1×10−7 Torr |
| 氧化钇涂覆铱盘（Y₂O₃-Ir） | 坚固耐用 | 10−4 Torr |
除氧化钡外，其他阴极在冷态下不会因反复暴露于大气或水蒸气而损坏。
可更换组件与维修
发射单元可由用户自行更换；可购买新的备用发射单元，旧发射单元可返回工厂进行翻新。此外，整支电子枪也可返回工厂进行全面清洗、翻新、阴极更换及可选的真空内测试。
EGPS-3101 电源
EGPS-3101 电源采用模块化设计，包含小型化电源集群、光隔离信号以及全新的 FlexPanel 数字接口控制器。内置电源包括：束流能量、聚焦、X/Y 偏转、可选的束流消隐器，以及浮地源/发射电流控制（ECC）和栅极电源。对于高电流选项，系统还包含一个由 EGPS-3101 控制的独立高压电源。
适用领域
通用真空物理实验
空间物理实验
样品加热
磷光体研究
MBE RHEED 研究（分子束外延反射高能电子衍射）
功能与选件
全新模块化设计：结构灵活，便于维护与升级
运行中内部对准：无需停机即可完成束流校准
准直束：输出高度准直的电子束
小束斑选项：最小束斑直径可低至 60 μm
高电流选项：束流电流可高达 1 mA
静电聚焦与偏转：实现束流精确控制
束流调制功能：消隐、脉冲、光栅扫描
可旋转 2.75 英寸 CF 安装法兰
超高真空兼容 / 可烘烤
计算机 / 远程控制
法兰多路连接器灵活性
用户可更换的发射单元
