美国 Kimball Physics 大束斑 均匀泛射电子束 电子枪电子束FRA-2X1-2 EGPS-1011 超高真空表面物理、电荷中和及工艺处理相关应用

FRA-2X1-2 电子枪搭配配套的 EGPS-101 电源，适用于各类超高真空表面物理、电荷中和及工艺处理相关应用。该设备为完整子系统，可直接接入用户真空系统并开机使用。电子束能量与束流均可在大范围区间内调节。

FRA-2X1-2 电子枪采用难熔金属阴极，可产生均匀泛射电子束。其阴极专为低能量散差工况定制设计，枪体结构可实现低能量、极小电流条件下的电子束发射。FRA-2X1-2 电子枪可在低至 5 电子伏特的能量下输出适中束流；在 5 电子伏特工况下最大束流可达 50 微安，1000 电子伏特工况下最大束流可达 400 微安。

FRA-2X1-2 低能泛射电子枪采用平面三极管结构设计。加速栅极可提升低能量状态下的电子束流；栅极处产生的二次电子，会因栅极施加相对于阴极 0 至 + 100 伏的正电位，无法从电子枪内逸出。