HWIG-1407 离子枪
电子撞击源的性能达到双电子管水平
可调光斑尺寸 = 15µm，用于空间定义溅射
发射调节轰击提供稳定的离子电流，前面板动态范围 x300 可调
连续可变的束流能量高达 5keV
用于光束扫描和散光校正的双八极镜
预物镜偏转可缩小光斑尺寸
内置光束电流监测功能
没有灯丝与样品的直接视线，以避免不必要的样品污染
可更换的光束微调光圈，一般使用寿命大于 500 小时
双灯丝提供操作备份，灯丝寿命一般大于 500 小时
内部源压力传感器可监测离子源压力
所有 UHV 兼容和抗蚀刻材料均用于制造
差分泵送，最大限度地减少主腔气体负荷
可在各种惰性气体范围内运行
性能保证，5.0 千伏氩离子：
