E84 仿真器 – 兼容 Windows 10 / 11
GCI E84 仿真器
GCI E84 仿真器是业内领先的测试设备，用于开发、实施和验证必须符合 SEMI® E84™ 标准的产品。它提供了行业标准的自动化测试方案，被全球所有 300mm 晶圆厂（FAB）及设备制造商所采用。GCI E84 仿真器是唯一能够保证 300mm 工厂自动化系统互操作性的解决方案。
E84 仿真器提供自动化测试流程，用于检测主动设备和被动设备的并行输入/输出（PI/O）控制信号。SEMI® E84™ 标准定义了在晶圆制造工厂中，自动物料搬运系统（AMHS）与生产设备之间进行传输时所使用的控制信号。
E84 仿真器通过 USB 接口连接到基于 Microsoft® Windows 的笔记本电脑或台式计算机。其应用软件兼容 Windows XP、10 和 11 操作系统。
系统提供图形用户界面（GUI），支持主动和被动仿真的自动测试模式和手动测试模式。在自动测试模式下，可输入操作员姓名、测试日期以及设备信息等数据。
主动模式测试套件用于验证工艺设备 E84 接口的行为。该模式下共有 20 项测试，操作员可以单独启用或禁用。类似的，被动模式测试套件用于测试传输系统。
主动模式还提供静态测试，要求操作员确认每个 Loadport 都配有标识清晰的 DB-25 插头，并确认具备错误恢复相关文档。系统还可选择性显示 DB-25 连接器标识及其安装位置示意图。
主动模式功能测试用于验证单次交接（handoff）的装载与卸载过程。部分测试用于确认设备能正确处理 Handoff Available 状态。另有五项测试用于触发五种标准的 TP 超时错误。四项测试用于验证被动设备端口传感器的行为。其他测试还包括紧急停止处理以及 E84 所需的 +24V 电源电压验证。系统还可选择性显示不同测试中控制信号的时序图。
在自动测试模式下，测试计划和测试结果可以选择性地保存。保存的文件包括一个用于打印的 ASCII 文本文件。该文本文件包含操作员输入的所有设备信息，以及 E84 仿真器应用程序提供的每个测试的相关信息。测试详情包括测试标题、测试结果、失败信息，以及测试过程中用户输入的任何备注。已保存的测试计划也可以被调取，以继续测试流程。
手动测试模式提供一个菜单，允许用户切换并行输出信号的状态，同时持续显示并行输入信号的状态。
