DOVER MOTION高精度光子对准6DOF-DD六个轴直驱结构
6DOF-DD
Dover Motion 6DOF-DD 左/右版本为高精度光子对准提供了全新标准。该系统在全部六个（或十二个）自由度上均采用直驱设计，其性能显著优于传统的步进式万向结构或六足式平台。由于伺服控制器已集成在系统内部，可大幅减少外部线缆，仅需每个 6DOF-DD 叠层平台一根固定电缆。
DOVER MOTION高精度光子对准6DOF-DD六个轴直驱结构主要特点包括：
- 六个轴全部采用直驱结构
- 提供左右立体版本，实现完整 12 自由度对准能力
- 虚拟旋转中心（Virtual Rotation Point），可通过易用 API 进行设定
- 分辨率：线性 5 nm；Theta-X / Theta-Y 为 25 微度；Theta-Z 为 100 微度
- 非接触式直线与旋转电机及编码器设计
- 所有轴采用高刚性、高精度交叉滚柱导轨结构
6DOF-DD L/R 平台规格
各轴性能参数：
| 轴向 | 行程 | 最大速度 | 分辨率 | 重复定位精度 |
|---|---|---|---|---|
| X（前后） | 150 mm | 200 mm/s | 5 nm | < ±50 nm |
| Y（垂直） | +25 / -7 mm | 200 mm/s | 5 nm | < ±50 nm |
| Z（光轴方向） | 100 mm | 200 mm/s | 5 nm | < ±50 nm |
| Theta-X | ±8° | 200°/s | 0.000025° | < 0.0001° |
| Theta-Y | ±8° | 100°/s | 0.000025° | < 0.0001° |
| Theta-Z | ±190° | 2000°/s | 0.000100° | < 0.0002° |
光轴高度：
152–184 mm（通过 Y 轴位置调整）
回零标定位置：159 mm
堆叠顺序：
Linear X → Linear Z（光轴）→ Theta-Y → Linear Y（垂直）→ Theta-X → Theta-Z
备注：
- 测试在客户工具点进行，使用线性及角度激光干涉仪（10 kHz 采样率，线性分辨率 1 nm，角度分辨率 1.7 微度）
- 重复定位精度为短时间性能（≤20 秒）。在较长时间运行中，环境温度变化可能导致缓慢漂移
- 对于大行程线性移动（>2 mm），重复定位精度为 < ±150 nm
说明
Dover Motion 6DOF-DD 左/右平台为高精度光子对准提供了全新标准。该系统在全部六个（或十二个）自由度上均采用直驱技术，其性能显著优于传统步进式万向架结构或六足平台设计。由于伺服控制已集成于系统内部，大幅减少了外部线缆，每个 6DOF-DD 叠层平台仅需一根固定电缆。
所有十二个轴均可通过 Motion Synergy API 快速编程控制，其中包括虚拟旋转中心（Virtual Rotation Point）功能，并配备友好的图形用户界面（GUI）。
无论待对准的器件是单模光纤对、GRIN 准直器、光波导还是线性光纤阵列，6DOF-DD L/R 都能实现快速、精确且高度可重复的对准性能。不同于采用步进电机、滚珠丝杠、蜗轮蜗杆或六足机构的设计，该直驱系统支持极其精细的圆形微抖动（dither）运动，可显著缩短达到最大光功率耦合的时间。“高斯分布对数的梯度是线性的！”所有轴均可通过 Motion Synergy™ API 快速编程控制，并支持虚拟旋转中心及用户友好界面。
该系统同时支持 BeamFind 探测器，用于加速首次光信号捕获过程。
DOVER MOTION高精度光子对准6DOF-DD六个轴直驱结构应用领域
该系统专为光纤对准应用优化设计，适用于：
