美国Dover Motion位移台,单轴定位平台,SmartStage™线性滑台TDI扫描应用
SmartStage™ 直线位移平台
SmartStage™直线位移平台分为单轴款 SmartStage™ Linear 与双轴款 SmartStage™ XY，提供多种行程规格与选配项，满足各类精密运动应用需求。
SmartStage™ XY 产品优势
- 全部控制单元内置；仅需 1 根外部线缆
- 5 nm 分辨率
- 0.8 μm 双向重复定位精度
- 便于样机研发
- 适合量产，具备成本优势
SmartStage™ XY 直线位移平台技术参数
| 参数 | 行程 50 | 行程 100 | 行程 150 | 行程 200 | 5nm 超高分辨率 * |
|---|---|---|---|---|---|
| 位置反馈‑编码器分辨率 | 5 nm | 5 nm | 5 nm | 5 nm | ‑ |
| 定位精度（2σ，μm）*1 | 10 | 12 | 14 | 16 | ‑ |
| 编码器细分误差（3‑σ）(nm) | ‑ | ‑ | ‑ | ‑ | 10 nm |
| 双向重复定位精度（2σ，μm） | 0.8 | 0.8 | 0.8 | 0.8 | ‑ |
| 回零重复定位精度（μm） | 1 | 1 | 1 | 1 | ‑ |
| 最小移动步距（nm） | 100 | 100 | 100 | 100 | ‑ |
| 保持稳定性（± nm） | 30 | 30 | 30 | 30 | ‑ |
| 负载能力（kg）*2 | 10 | 10 | 10 | 10 | ‑ |
| 最大加速度（m/s²）*3 | 10 | 10 | 10 | 10 | ‑ |
| 最大速度（m/s）*3 | 0.6 | 1 | 1 | 1 | ‑ |
| 平面度与直线度（μm TIR 全跳动）*4 | 3 | 4 | 6 | 6 | ‑ |
| 单轴总重量（kg） | 0.8 | 1.1 | 1.4 | 1.7 | ‑ |
* 推荐用于 TDI 扫描应用** 可提供其他分辨率规格，选型请联系应用工程师
*1 定位精度已做两点斜率校正
*2 负载超过 10 kg，请联系我方应用工程师
*3 最大加速度与最大速度受分辨率及实际负载影响
*4 直线平台必须安装在平整基座上，详细要求参见数据手册
SmartStage™位移平台具备以下特性与优势：硬件灵活性
- 独特紧凑型一体化运动平台搭配微型控制器，仅使用一根集成线缆同时供电与通讯。
- 易于集成：设备内部占用空间小、结构复杂度低、零部件数量更少。
- 可实现多台平台一体化配套方案。
性能表现
- 高精度、高性能运动控制，配套专用软件工具，可满足严苛应用场景需求。
- 依托创新专利系统架构，实现优异的性价比。
美国专利：10,374,530美国专利：10,367,436
- 使用寿命长：采用静音无刷直线电机、非接触式编码器、交叉滚子直线轴承。
可靠保障
- 专业供应商，产品可靠，值得信赖。
- 已向全球财富 500 强企业交付超 22000 套运动系统。
- 按时交付率＞95%。
美国Dover Motion位移台,单轴定位平台,SmartStage™线性滑台TDI扫描应用应用领域
高分辨率位置触发，用于图像采集或激光同步
硬件高速输出，分辨率优于 1 nm，可将平台位置与相机或激光实现同步。非常适合运动过程中的信号触发，广泛用于 TDI 成像或激光加工。高速位置触发输出功能，可让相机、激光或其他外设与平台的实际位置实现精准同步。触发模式可配置：既可以设置固定增量间隔触发，也可通过用户自定义查找表实现任意间隔触发。协同运动
用户自定义轮廓模式（UDP），可通过辅助输入信号实现多平台协同运动。平台可接收另一轴或外部信号源驱动，跟随输入信号执行预设运动曲线。
