DOVER MOTION,ZE™精密垂直升降平台,用于晶圆检测、扫描和探针测试,能够实现极其直线、平稳且重复性优异的垂直移动。该系列提供多种行程选项，从 0.5 英寸到 1.5 英寸（约 12.5 至 38 毫米），并采用低高度设计以节省设备空间。
精密垂直升降平台 – ZE™
直线、平稳且可重复的运动表现
产品概述
Dover Motion 的 ZE™ 精密垂直升降平台提供了一种结构紧凑且高精度的垂直运动解决方案。该平台专为晶圆检测、扫描和探针测试等高要求应用而设计，能够实现极其直线、平稳且重复性优异的垂直移动。该系列提供多种行程选项，从 0.5 英寸到 1.5 英寸（约 12.5 至 38 毫米），并采用低高度设计以节省设备空间。
技术规格
| 参数 | ZE-05 | ZE-10 | ZE-15 |
|---|---|---|---|
| 行程（mm） | 12.5 | 25 | 38 |
| 行程（英寸） | 0.5 | 1.0 | 1.5 |
| 定位精度（±μm）*¹ | 38 | 76 | 114 |
| 双向重复精度（±μm） | 1.5 | 1.5 | 1.5 |
| 负载能力（kg）*² | 12.5 | 12.5 | 12.5 |
| 平整度与直线度（μm TIR） | 5 | 10 | 15 |
| 总质量（kg） | 7.4 | 9.1 | 13.1 |
*¹ 步进电机为开环控制，如需更高精度可通过编码器反馈或补偿方式实现。
*² 若负载超过此范围，请咨询应用工程师。
产品描述
ZE™ 升降平台采用精密的非循环导轨，位于平台四个角，确保在全行程范围内俯仰角误差小于 15 角秒。0.5 英寸与 1 英寸行程版本具有极低的收缩高度，有效减小整机体积。8 英寸的方形安装板可将负载与升力对齐，避免负载悬臂安装，从而提升平台稳定性。
该平台采用 NEMA 23 规格的电机（可选步进或伺服），通过丝杆驱动沿楔形结构运行的滚轮，并配有防反冲摩擦螺母，可实现高分辨率定位与出色的重复性。每个平台标配高精度霍尔效应限位开关，并通过可靠的 D-sub 锁紧连接器引出。
关键设计特点：
低外形设计，无需负载悬臂
出色的直线度和平稳性
防反冲摩擦螺母，确保重复定位精度
可选配置
电机选项：步进电机或伺服电机
反馈选项：旋转编码器
典型应用
ZE™ 平台非常适用于以下场景：
晶圆检测
精密扫描
探针测试（如半导体探针台)
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