代理Dover Motion,DOF-5,DOF-9,DOF物镜对焦平台,用于半导体与纳米技术成像,用于数字显微镜

DOF物镜对焦平台

产品概述

DOF物镜对焦平台是一款高性能、高性价比的纳米定位解决方案,专为自动化数字显微镜及生物医学成像应用而设计。该平台在提供大于5mm行程和超过225Hz带宽的同时,成本仅为传统压电平台的一半左右

通过将伺服驱动器运动控制器集成于平台内部,DOF省去了复杂的线缆连接,显著降低了系统总成本,同时保持了与竞争产品相当甚至更优的性能

产品型号与规格

参数DOF-5DOF-9
行程 (mm)59
负载质量 (g)0 – 9000 – 1,500
分辨率 (nm)1.25 或 51.25 或 5
伺服带宽 (Hz)≥ 225≥ 225
稳定性 (nm RMS)55
步进与稳定100 nm 移动,±15 nm 范围内稳定时间 < 15 ms100 nm 移动,±15 nm 范围内稳定时间 < 15 ms
双向重复性 (nm) (500nm移动)≤ 25≤ 25
归位重复性 (µm)≤ 1≤ 1
整体尺寸(不含物镜接口)(mm)77 x 82 x 3095 x 82 x 30
最大加速度 (m/s²) (1kg负载)66
最大速度 (mm/s)125(5nm分辨率下)125(5nm分辨率下)
通信接口RS232, RS485(全/半双工), CAN2.0BRS232, RS485(全/半双工), CAN2.0B
输入方式步进和方向步进和方向

其他分辨率可选,适用于低数值孔径物镜,请联系应用工程师

核心特点与优势

硬件灵活性

  • 高度集成:紧凑的一体化运动平台与微型控制器,单根线缆同时实现供电与通信

  • 易于集成:占地面积小、复杂度低,减少仪器内部零件数量

  • 多平台协同:可与SmartStage XY平台组成完整的控制生态系统

卓越性能

  • 高精度运动控制:配备完善的软件工具,满足最严苛的应用需求

  • 优异的性价比:采用创新的专利系统架构

  • 长寿命设计:静音无刷线性电机、非接触式编码器、交叉滚柱线性轴承

可靠耐用

  • 拥有超过22,000套运动系统的出货经验,服务于全球财富500强企业

  • 按时交付率超过95%

全集成解决方案

  • 编码器、插值器、驱动器和运动控制器全部集成于平台内部,实现高定位稳定性,避免外部线缆、接地不良等因素对反馈信号的干扰

  • 与SmartStage XY平台共享统一的API接口,简化X、Y、Z轴的软件架构

精密线性电机

DOF采用高刚性交叉滚柱轴承和无刷线性伺服电机驱动,提供更高的伺服带宽和更优的响应速度,非常适合光学显微成像应用。该设计已获得美国专利保护(专利号:10,367,436)

与压电柔性铰链平台的对比

对比项压电柔性铰链平台DOF物镜对焦平台
成本含控制系统约$8,000–$12,000含控制系统单价最高可节省50%
轴承柔性铰链产生离轴运动和位置依赖的寄生力交叉滚柱轴承提供更高刚性,实现更快运动和更长寿命
驱动方式堆叠或振荡驱动具有非线性响应,带宽随负载增加而降低无刷线性伺服驱动提供更高带宽和线性响应
行程< 300 µm,需要精密对准和额外的粗调轴> 5 mm,对准更简便,避免物镜碰撞
噪音振荡压电产生尖锐噪音静音伺服驱动,适合实验室环境
控制离轴、复杂控制,通常为专有协议板载控制,复杂度低、线缆少,总拥有成本更低

性能表现

快速、精确、可重复的100nm步进

在10kHz采样率下使用激光干涉仪测试(300g物镜负载),DOF-5可连续执行十次100nm上行步进和十次100nm下行步进,表现出优异的步进精度和重复性

高通量步进与低抖动

单次100nm步进中,初始位置稳定性优于±3nm,物镜在3ms内完成100nm步进并稳定在±7nm窗口内

纳米级双向重复性

在100nm步进序列中,从相反方向逼近同一位置时,两个位置在250ms保持期间的均值差异小于2nm

典型应用

DOF物镜对焦平台专为满足自动化数字显微镜日益增长的吞吐量、分辨率和稳定性要求而开发,已广泛应用于以下领域

  • 下一代测序(NGS)

  • 数字细胞形态学

  • 自动化数字病理学

  • 光学计量仪器

  • 半导体与纳米技术成像

  • 数字显微镜

  • 高内涵成像

  • 自动化细胞计数

协调运动

用户自定义轨迹模式(UDP)支持平台利用辅助输入实现协调运动。平台可由另一轴或外部源驱动,根据输入信号跟随定义的运动曲线。DOF可配置为垂直(Z轴)和水平(X轴)应用

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