Crytur KARMEN™ 适用于高温平台的可伸缩式BSE检测装置、Crytur闪烁体
Crytur KARMEN™ 适用于高温平台的可伸缩式BSE检测装置
Crytur KARMEN™-retractable BSE detector for hot stage
KARMEN™—适用于高温平台的可伸缩式BSE检测装置
Crytur KARMEN™ 适用于高温平台的可伸缩式BSE检测装置关键属性
可靠的传感器
- 单晶传感器
- 实现最佳图像质量的闪烁体/光电倍增管原理
- 出色的信噪比
- 传感器使用寿命无限长
- 高压+低压+ESEM联合操作
- 样品温度超过1000℃
使用KARMEN™进行的测量结果示例
图片由Podor R、Mendonça J、Lautru J等人提供。该研究探讨了一种新型的、基于闪烁体的耐热型背散射电子探测器的性能与应用，这种探测器可用于扫描电子显微镜中的热处理过程检测。载于《显微镜学杂志》，2020年，第1-15页。
这些图像是在高真空、高温条件下，利用Karmen BSE探测器拍摄的多相高温合金再结晶过程中的影像。图中显示的是面积为2×2微米²的中央区域的放大图。
将涂有铝硅合金涂层的钢材从室温加热到900°C，升温速率为20°C/分钟。选取了若干BSE图像，这些图像能够清晰地显示在643°C至666°C期间，由于涂层熔化而导致的快速相变过程。
传感器热管理
- 样品温度：1000°C
- 利用热管技术实现被动式冷却
- 传感器的温度监测
传感器隔热装置
- 传感器和导光板经过冷却处理
能屏蔽红外光和可见光
被加热的样品所发出的光
传感器单元
- 经过优化设计后，这种单晶闪烁体的效率得到了提升，余辉现象也有所减少。其指数衰减时间为45纳秒，每千电子伏特对应的光子数为30个。
- 外径15毫米
- 内孔直径可为3毫米、2毫米、1.5毫米或1毫米。这一尺寸限制了视野范围。
- 独家的CRYTUR低能量涂层技术™，能够检测到低至0.2 keV的微弱能量。
- 灵敏度可低至1皮安的束流强度。
- 薄型设计——允许最小工作距离达到2毫米
机械单元
- 尺寸：406毫米×100毫米×72毫米
- 用于实现极高真空度的风箱设计
- 150毫米电动伸缩装置
- X、Y、Z轴上可进行±2毫米的精细调节。
- 0.02毫米的重复精度
- 法兰规格根据客户的SEM要求进行定制。
- 可供选择的表面处理方式有：银色/黑色/蓝色/红色哑光面
电子控制单元
- 尺寸：270毫米×180毫米×65毫米
- 供电电压：230/110伏特
- 3种针对不同扫描速度优化的降噪滤波器
- 50兆赫兹的带宽
- 用于PMT高压部分的内部电源电压范围为0-1200伏特。
- 输出视频信号：-1/+1伏特（-5/+5伏特）
- 完全远程软件控制
- 直流偏移量最高可达-20伏特
