Crytur  REBEKA™用于扫描电子显微镜的可伸缩式BSE检测装置

Crytur  REBEKA™用于扫描电子显微镜的可伸缩式BSE检测装置、Crytur闪烁体

Crytur  REBEKA™ 可伸缩式电子显微镜用BSE检测装置

REBEKA™ – retractable BSE detector for SEM

REBEKA™——用于扫描电子显微镜的可伸缩式BSE检测装置

Rebeka™是一种新型的可伸缩式电子显微镜用BSE检测装置。它将Crytur公司生产的优质单晶闪烁体与精密的高真空机械结构及读出电路完美结合在一起,形成一个即用型解决方案。

Crytur  REBEKA™ 可伸缩式电子显微镜用BSE检测装置关键特征

可靠的传感器

  • 单晶传感器
  • 实现最佳图像质量的闪烁体/光电倍增管原理
  • 独家的CRYTUR低能量涂层技术™,能够检测到低至0.2 keV的微弱能量。
  • 出色的信噪比
  • 传感器寿命无限长
  • HV + LV + ESEM联合运行模式

精确的机械结构/精准的机械运作方式

  • 电动伸缩机构
  • 波纹管密封的高真空系统
  • 回缩距离:150毫米
  • 紧凑的设计
  • 精确对齐
  • 针对SEM的定制化连接方式

灵敏度极高的传感器

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  • 经过优化设计后,这种单晶闪烁体的效率得到了提升,余辉现象也得到了显著减弱。其指数衰减时间为45纳秒,每千电子伏特对应的光子数为30个。
  • 外径15毫米
  • 内孔直径可为3毫米、2毫米、1.5毫米或1毫米。这一尺寸限制了视野范围。
  • 独特的CRYTUR低能量涂层技术™,能够检测到低至0.2 keV的微弱能量。
  • 灵敏度可低至1皮安的束流强度。
  • 薄型设计——允许最小工作距离达到2毫米

精确的机械结构

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  • 尺寸:406毫米×100毫米×72毫米
  • 用于实现极致真空的波纹管设计
  • 150毫米电动伸缩装置
  • X、Y、Z轴方向上可进行±2毫米的精细调节。
  • 0.02毫米的重复精度
  • 法兰尺寸根据客户的SEM要求进行定制。
  • 可供选择的表面处理方式有:银色/黑色/蓝色/红色哑光面。

电子控制单元

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  • 尺寸:270毫米×180毫米×65毫米
  • 供电电压:230/110伏特
  • 3种针对不同扫描速度优化的降噪滤波器
  • 50兆赫兹的带宽
  • 用于PMT高压部分的内部电源电压范围为0-1200伏特。
  • 输出视频信号:-1/+1伏特(-5/+5伏特)
  • 完全远程软件控制
  • 直流偏移量最高可达-20伏特

低能量灵敏度

Low energies sensitivity

对比进化

Contrast evolution

随着着陆能量的增加,BSE现象也发生了相应变化。

样本:来自中科院地质研究所提供的古巴拉陨石中的球粒和金属碎片。

快速扫描速度

Fast scanning speed

Rebeka能够以高达20纳秒/像素的快速扫描速度进行操作。

样品:Er/Yb光纤激光器——详细信息由光子学与电子学研究所提供

 


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