Angstrom Sciences ONYX-Φlux Control ONYX-Φlux 控制
Angstrom Sciences 为磁控溅射应用带来的尖端技术而享誉国际。我们现在已经开发出一种方法来控制穿过靶材表面的等离子体。ONYX-Φlux 控制，（通量控制）为平面和圆形磁控管开发，允许用户最大化均匀性或目标利用率。
控制均匀度
磁场在目标表面上特定点的可编程停留时间。提供对电场和磁场交叉点的精确控制，以聚焦腐蚀轮廓并调整均匀性。
控制材料利用率
以恒定速率将等离子体扫过目标表面。在厚度高达 1.4 英寸（35 毫米）的平面目标上可以实现高达 65% 的目标利用率，从而实现极长的运行时间。
用户友好的软件
- 直观的用户界面
- 三种用户模式 - 运行、编辑、手动
- 触摸屏技术
- 等离子体的输入位置和停留时间
