Angstrom Sciences Circular Magnetron 圆形磁控管
Angstrom Sciences 的圆形磁控管已被公认为溅射行业的新标准，因为除了 Angstrom Advantage™ 的先进功能之外，它们还提供了许多其他性能优势。
多功能、紧凑的设计
其紧凑的设计使我们的圆形磁控管非常适合任何新的或改造应用，包括用于最小真空室的最复杂的集群组件。
总功率兼容性
低阻抗头提供射频、直流、中频直流、脉冲直流和微波功率兼容性。
标准接头
我们使用 ISO NW 标准接头以及 Conflat® 金属密封法兰。所有公用设施都保持在大气中，并通过标准 O 形环压缩配件进行访问，以便在任何真空系统中轻松安装。
各种尺寸
圆形磁控管源可提供标准或定制配置的 1″ (25mm) 至 16″ (406mm) 目标直径。
快速、轻松的目标更改
我们获得专利的螺纹目标夹和阳极护罩允许您在不使用辅助工具的情况下更换目标。它们内置的可调节性还可以让您适应不同厚度的目标，而无需借助间隔装置。
更低、压力、高功率
ONYX® 磁控管可以在极低的压力下运行（低至 10-4 Torr 范围），我们的直接冷却设计可以提供高达 250 瓦/英寸（30 瓦/平方厘米）的功率密度。
高速率和高性能
使用更高的功率密度，您可以更快地涂覆基材。因此，Angstrom Sciences 可以最大限度地提高您的涂层区域和目标利用率（通常在 40% 范围内），而无需权衡速率。
更大的一致性
由于我们获得专利的异形磁铁，我们的磁控管还可以提供更高的沉积均匀性 – 通常在 ± 3-5% 范围内。
