AMMT 多孔硅电源PS2是在氢氟酸中形成多孔硅和电抛光硅的强大仪器。它是第一个完全致力于MEMS制造技术的系统，具有许多独特的功能，可以提高商业环境中的生产良率和可重复性。同时，AMMT 多孔硅电源PS2是研发的完美工具，为您的实验室工作提供高度的灵活性和经过验证的可靠解决方案。
AMMT 多孔硅电源PS2有两种版本可供选择，一种是12安培的设备，用于4英寸以下晶圆的孔隙化，另一种是24安培的版本，用于更大的基板。输出电压和电流可以在设备的前面板上设置，而两个大型LCD面板显示了过程中的实际值。然而，PS2多孔硅电源的主要特征是它与AMMT控制软件的可编程性。通过串行计算机接口，即使是复杂的基于时间的电流分布也可以下载到PS2多孔硅电源，用于制造多级结构。监控所有蚀刻参数有助于故障排除，并确保高制造质量。
计算机控制是AMMT多孔硅电源PS2的主要特征之一。每个PS2多孔硅电源都附带了专用控制软件的免费许可证，可以：
定义和编辑基于时间的蚀刻电流分布
实时更改所有PS2参数
在蚀刻过程中监控所有相关信息
通过错误检查提高产量
打印每个蚀刻过程的简明报告
工艺窗口在蚀刻过程中监测电流和施加的电势。
方法编辑器是基于时间的当前配置文件的方便编辑器。
其他程序的配置文件可能很重要，可以生成复杂的电流模式。还包括文档导出功能。
