德国AMMT 电镀系统μGalv,µGalv Pro电镀系统,全自动晶圆电镀系统,电镀MES系统

德国AMMT 电镀系统μGalv

德国AMMT 电镀系统μGalv的研发是十多年来与最苛刻的客户合作的成果。它代表了电镀的最新技术,采用专为高级研究和中试生产而设计的包装。
德国AMMT 电镀系统μGalv专为MEMS、半导体、光学和太阳能行业的优化均匀电镀和电沉积处理而设计。由于设计灵活,μGalv电镀系统可以很容易地适应和扩展到客户的要求。μGalv Pro系列适用于Cu、Au、Ni、NiFe、NiCo、NiW和SnPb。自动处理(半自动、干燥-干燥)、预处理或后处理单元的集成、层流单元、真空捻度机、电解质排放的快速连接器、处理过程数据的接口等。

旋转的晶圆支架确保了每个镀槽设计的最佳均匀性。

德国AMMT 电镀系统μGalv是一种用于各种金属(金、镍、铜)的交钥匙电镀系统,还提供额外的清洗槽或快速倾倒清洗机。德国AMMT µGalv Pro系统是从密集研发到试生产电镀应用的理想平台。

μGalv 电镀系统


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