美国 Logosol Diamond E5 ，一款高性能的真空升降机
Diamond E5 真空升降机
技术规格
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 运动范围 | 13.267 英寸（337mm），机械限位至机械限位 13.188 英寸（335mm），软件限位可用行程 |
| 最大速度 | 8 英寸/秒 |
| 最大加速度 | 12 英寸/秒² |
| 轴重复定位精度 | ±0.001 英寸（0.025mm） |
| 晶圆尺寸 | 2 英寸（50mm）至 12 英寸（300mm） |
| 负载 | 25 kg（55.1 lbs） |
| 重量 | 21 kg（46.5 lbs） |
| 洁净度 | Class 1 |
| 极限真空度 | 最高 1×10⁻⁹ Torr |
| 漏率 | < 1×10⁻⁹ std.cc/sec He |
| 工作温度 | 真空侧：最高 100°C（212°F） 大气侧：10°C – 40°C（50°F – 104°F） |
| 电机类型 | 无刷，低惯性高响应 |
| 编码器类型 | 增量式，电机轴上 10000 脉冲/转 |
| 设施要求 | 电压范围：100-120 VAC，200-240 VAC |
| 控制接口 | LDCN 机器人从设备（可级联 RS-232 接口） 通用数字 I/O 可选：智能设备，带 RS-232 和以太网（Telnet）接口 |
| 材料 | 铝、不锈钢、波纹管（AM-350 不锈钢退火） |
| 安装配置 | 可定制法兰（图示为 200mm 底部安装法兰） |
| 内置控制器和电源的机体尺寸（无需外部控制器） | 8.70" × 7.98" × 22.05"（221mm × 203mm × 560mm） |
询价采购美国 Logosol Diamond E5 ，一款高性能的真空升降机
请用微信扫描下方二维码或手动添加微信号2351992198
