ZYTC氧化锆基板三大产品系列
• ZYTC-3 传感器级
• ZYTC-5 工业级
• ZYTC-8 固体氧化物燃料电池(SOFC)级
ZYTC产品特性
• 3mol%氧化钇稳定 – 传感器专用级
• 5mol%氧化钇稳定 – 工业级基板
• 8mol%氧化钇稳定 – SOFC级电解质
• 备有标准品/接受定制
• 平整度＜50微米
• 气密性优异
• 高耐磨性
• 高耐腐蚀性
气密型·三大品级·精密控制
ZYTC基板专为微电子器件烧结工艺而精密调控
产品说明
ZYTC型氧化锆流延基板采用以下先进工艺制成：
• 薄型刚性流延成型结构
• 精准氧化钇稳定配比（3/5/8 mol%梯度）
• 当前最薄氧化锆基板解决方案
典型应用
• 微电子元件烧结承烧板
• 固体氧化物燃料电池(SOFC)
• 高温热管理系统
关键特性
• 最高使用温度1500℃且保持尺寸稳定
• 经高温烧结形成致密结构：
表面无尘光滑
卓越气密性
• 耐受极端氧化/还原气氛
特殊说明
在真空/惰性/还原性超高温环境中：
• 会呈现氧化锆特征性白→灰变色现象（微量氧流失所致）
• 材料核心性能保持不变
品级定义
ZYTC-3：传感器专用级（3mol% Y₂O₃稳定）
ZYTC-5：工业通用级（5mol% Y₂O₃稳定）
ZYTC-8：SOFC电解质级（8mol% Y₂O₃稳定）
气体流量传感器应用
ZYTC-3传感器级基板是薄膜式气体流量传感器的理想选择，具有：
• 超高表面平整度（＜50μm）
• 优异的气密特性
• 3mol%氧化钇稳定带来的最佳传感稳定性
被动电子元件开发
ZYTC-5工业级基板适用于：
• 高频电容器基板
• 精密电阻元件载体
• 5mol%氧化钇稳定提供的均衡性能：
机械强度与热稳定性完美平衡
成本效益比优异
SOFC前沿研究
ZYTC-8 SOFC级基板凭借以下特性成为高温研究的首选：
• 8mol%氧化钇稳定带来的高离子电导率
• 精准检测燃料电池电极材料的细微差异：
阳极/阴极界面反应研究
高温电化学性能测试
• 在氧化/还原交替环境中保持结构稳定
