YPS Field Emission Guns 场发射枪

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YPS 提供一系列高压场发射枪（FEG），包括 30 千伏（HV30）、50 千伏（HV50）和 100 千伏（HV100）型号。

它们由一系列单透镜和双透镜电子柱以及相关电子设备组成，为超高真空环境提供完整的高分辨率成像解决方案。

技术规格

可在 0.2 – 30kV（HV30）、0.2 – 50kV（HV50）或 20 – 100kV（HV100）下运行。

兼容超高真空（UHV）。

工作压力：< 2×10⁻⁹ 毫巴。

应用

扫描电子显微镜（SEM），如场发射枪（FEG）模块。
电子束光刻。
透射电子显微镜应用（HV100）。
俄歇电子能谱。
其他基于超高真空的电子光学应用。
可通过激光注入配置用于时间分辨应用。

HV30 是一种单透镜型透镜，它使用 M20 微型模块阴极。它能够产生聚焦的电子束，随后该电子束可通过磁或静电柱进行聚焦，以适应特定的应用需求。

特点

YPS Sealed Systems 密封系统