比利时 XERYON电动垂直载物台(Z轴)立式压电平台 |“XVS”

比利时 XERYON电动垂直载物台(Z轴)立式压电平台 |“XVS

由超声波压电驱动的紧凑而精确的电动垂直载物台,专为沿 Z 轴的高精度运动而设计。

垂直压电平台


Xeryon 提供各种压电驱动的垂直平移阶段,每个阶段都能满足您的特定需求。

您可以选择垂直安装的压电平台 (XVS) 和重载垂直升降平台 (XVP)。我们所有的电动立式载物台都可以根据您的需求进行定制,并订购用于真空应用和/或由非磁性材料制成。

除了独立功能外,Xeryon 的立式载物台(也称为 Z 轴载物台)可以轻松地与我们的其他线性和旋转载物台结合使用。这使得能够创建适用于广泛应用的综合运动系统。

从复杂的实验室研究和精密制造到先进的机器人技术和光学对准,我们的电动垂直载物台的适应性几乎是无穷无尽的。

其紧凑而精确的设计确保了多轴配置的无缝集成,为用户提供了满足复杂运动要求的可靠、高效的解决方案。

电动垂直载物台

立式压电平台 |“XVS”

在扩展行程范围内实现

压电精度

这是XVS系列。这些垂直压电平台可在大垂直平面上快速进行亚微米定位,同时将尺寸保持在最小。

载物台超声波压电电机的其他优点包括使用寿命长、运行安静和自锁功能,这意味着即使载物台断电,也能保持该位置。

Xeryon 的立式载物台可以轻松组合成多轴设置(例如,与卧式或旋转载物台),并提供非磁性和真空兼容版本。

内置编码器的精确垂直载物台


紧凑的

从质量小于 50 克开始

精确

分辨率介于 1.25 μm 和 5 nm 之间

高达 200 毫米/秒

长途旅行:

行程长度可达 70 mm

快速点对点定位

冲程频率高达 50 Hz

光滑

1N、3N和5N直驱超声波压电电机

耐用

使用寿命> 1000 公里或 2000 万次循环

负载能力高达 100 克(或 500 克,带质量补偿)

多才多艺

提供非磁性和真空兼容版本

相容

与其他舞台品牌一对一互换

紧凑、精确和快速的垂直平台


  • 无磨损间隙(不会随着时间的推移而失去精度)
  • 免维护
  • 不产生磁场
  • 直接驱动,没有笨重的齿轮或其他传动部件
  • 可反向驱动(可手动覆盖而不影响使用寿命)
  • 低安全电压(<48V)
  • 低功耗
  • 能够保持慢速和恒定的扫描速度

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