比利时 XERYON XY 和 XYZ 压电平台

轻松组合线性和旋转压电级

我们的大多数线性和旋转载物台都可以轻松安装到 XY 载物台XYZ 载物台或其他多自由度组合中。

只需选择您的:

– 来自我们线性平台的 X 轴和 Y 轴;
– 垂直载物台的 Z 轴;
– 来自我们旋转级的旋转轴。

任何组合都是可能的,包括 4 轴5 轴或 6 轴平台。

精密 XY、XYZ、XTheta 或 XYTheta 载物台


紧凑的:

从每级质量小于 40 克开始

精确:

分辨率高达 5 nm(线性)和 3 μrad(旋转)

Compact linear actuator

 

快:

高达 200 mm/s(线性)和 720°/s(旋转)

耐用:

使用寿命> 1000 公里(线性)和> 1000 万转(旋转)

自锁:

位置稳定性,即使在断电时也是如此

快速点对点定位:

定位频率高达 50 Hz

多才多艺:

真空兼容和非磁性版本适用于所有阶段

低压:

级工作电压< 48V

相容:

与其他舞台品牌一对一互换


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