比利时 XERYON电动垂直载物台(Z轴)立式压电平台 |“XVS”
由超声波压电驱动的紧凑而精确的电动垂直载物台,专为沿 Z 轴的高精度运动而设计。
垂直压电平台
Xeryon 提供各种压电驱动的垂直平移阶段,每个阶段都能满足您的特定需求。
您可以选择垂直安装的压电平台 (XVS) 和重载垂直升降平台 (XVP)。我们所有的电动立式载物台都可以根据您的需求进行定制,并订购用于真空应用和/或由非磁性材料制成。
除了独立功能外,Xeryon 的立式载物台(也称为 Z 轴载物台)可以轻松地与我们的其他线性和旋转载物台结合使用。这使得能够创建适用于广泛应用的综合运动系统。
从复杂的实验室研究和精密制造到先进的机器人技术和光学对准,我们的电动垂直载物台的适应性几乎是无穷无尽的。
其紧凑而精确的设计确保了多轴配置的无缝集成,为用户提供了满足复杂运动要求的可靠、高效的解决方案。

立式压电平台 |“XVS”
在扩展行程范围内实现
压电精度
这是XVS系列。这些垂直压电平台可在大垂直平面上快速进行亚微米定位,同时将尺寸保持在最小。
载物台超声波压电电机的其他优点包括使用寿命长、运行安静和自锁功能,这意味着即使载物台断电,也能保持该位置。
Xeryon 的立式载物台可以轻松组合成多轴设置(例如,与卧式或旋转载物台),并提供非磁性和真空兼容版本。
内置编码器的精确垂直载物台
紧凑的
从质量小于 50 克开始
精确
分辨率介于 1.25 μm 和 5 nm 之间
快
高达 200 毫米/秒
长途旅行:
行程长度可达 70 mm
快速点对点定位
冲程频率高达 50 Hz
光滑
1N、3N和5N直驱超声波压电电机
耐用
使用寿命> 1000 公里或 2000 万次循环
强
负载能力高达 100 克(或 500 克,带质量补偿)
多才多艺
提供非磁性和真空兼容版本
相容
与其他舞台品牌一对一互换
紧凑、精确和快速的垂直平台
- 无磨损间隙(不会随着时间的推移而失去精度)
- 免维护
- 不产生磁场
- 直接驱动,没有笨重的齿轮或其他传动部件
- 可反向驱动(可手动覆盖而不影响使用寿命)
- 低安全电压(<48V)
- 低功耗
- 能够保持慢速和恒定的扫描速度
