Xensor XEN-5320-ALU-CAN热导传感器,用于测量氢气 氦气 二氧化碳 二氧化硫 甲烷和氖气

Xensor XEN-5320-ALU-CAN热导传感器,用于测量氢气 氦气 二氧化碳 二氧化硫 甲烷和氖气

RS Product Solutions BV XEN-5320 气体传感解决方案

XEN-5320是一款智能热导传感器。该传感器通过测量微机械加热元件的温度升高来确定气体成分。对于每种二元气体混合物,温度升高与加热功率的比率取决于混合比。为了提高精度,对环境温度和湿度进行了修正。应用包括氢气和氦气实验、喷射和羽流中气体扩散率的检测以及二元气体成分测量。

可使用 XEN-5320 传感器测量的气体示例:

氢气、氦气、二氧化碳、二氧化硫、甲烷和氖气。

RS Product Solutions BV热导率计

热导率计可用于测量周围气体的热导率。它利用气体导热系数不同的原理,可用于测量组分气体具有不同导热系数的二元混合物或准二元混合物中的气体浓度。它还可以用作皮拉尼压力计来测量真空系统中的压力。

RS Product Solutions BV热量计芯片

我们的热量计芯片专为以高温度扫描速率测量小样品而设计。该传感器具有单层或双层超薄氮化硅膜,其特点是对环境具有高热阻和非常小的时间常数。这使得这些传感器特别适合气体环境中的测量和快速测量,例如快速扫描量热法。

Xensor Integration XEN-5320-ALU 高速响应热导式气体传感器测量原理
XEN-5320通过测定微型机械加热元件的温度提升确定气体组分。对于各二元气体混合,升高温度与加热功率比取决于气体混合比。为获得最佳精度,传感器已做环境温湿度修正。偏置、测量和修正通过XEN-TCG3880热导传感器和温湿度传感器输出的ASIC执行,此ASIC由Xenser设计。

Xensor Integration XEN-5320-ALU热导式气体传感器主要应用
医疗、研发和工业环境中,氢气H2、氦气He、二氧化碳CO2, 氮气N2和甲烷CH4气体混合物的监测和泄漏检测。响应时间T90< 1 s.

Xensor Integration XEN-5320-ALU主要特征
二元和准二元混合物中气体的长期稳定性分析
快速响应和数据更新率
高灵敏度和高分辨率
使用寿命长,维护费用低
流量效应补偿设计
温度和湿度校正输出
允许用户进行零点和增益校准
用户可配置的输出校准曲线
LabView读取和编程软件通过USB、CAN或模拟输出读取
符合RoHS标准
CE和FCC认证

Xensor Integration XEN-5320-ALU 典型输出

XEN-5320的输出主要由带时间戳的信息组成关于环境气体的热导率传递以及温度和湿度。使用热导率传感器的补偿传递和相关气体混合物的用户可选校准曲线来计算气体混合物浓度。

Xensor XEN-5320-ALU-CAN性能:

23°C、101 kPa、50%相对湿度下的起始规格

通用条件

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痕量H₂的灵敏度-2%/%
痕量氦的灵敏度-1%/%
痕量CO2的灵敏度+0.3%/%
H₂和He的不准确性为1%FS
短期漂移<100ppm
长期零漂移0.2%/年
范围100 ppm-100%
模拟输出0.5至2.5V

操作速度

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系统启动时间0.3 s

t90响应时间<1s

t10恢复时间<1 s

t63 RH传感器响应时间8 s

数据更新率3.3 Hz

加速数据更新速率40 Hz


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