Xensor,XEN-3920-P2RW,XEN-3880P3RW,热导率计,XEN-3920-PRW热导率计用于测量周围气体的热导率。其原理是不同气体的热导率不同，因此可以用来测量二元混合气体或准二元混合气体中气体的浓度，其中组分气体具有不同的热导率。它还可以用于真空系统中的压力测量。
传感器芯片由一个硅框架和2个硅氮化物膜组成。每个膜的中心都有一个加热器，热电堆用来测量其温度。芯片测量膜中心与周围环境之间的热导率。膜上方的硅盖（Roof）和带过滤器的焊接帽（W）可以抑制流动敏感性。
特点
• 长期稳定地分析二元和准二元混合气体中的气体
• 高灵敏度和高分辨率
• 工作温度：-250°C 至 150°C
• 湿度：0 至 95% RH，不结露
• 温度测量：使用Pt100（P2）或Pt1000（P3）元件
• 微不足道的流动敏感性
技术规格
- 环境温度：22°C，1 V电源供电
- 尺寸：裸芯片（mm³）2.50 x 3.33 x 0.3
- TO-5封装尺寸（mm²）9 Φ x 6
- 引脚长度（mm）14
- TO-5封装重量（g）0.72
- TO-5封装 + 盖子 + 过滤器重量（g）1.05
输出
- 在真空下 < 1 mPa（V/W）：待定
- 在100 kPa空气中（V/W）：42
- 在10 MPa空气中（V/W）：待定
- 在100 kPa氦气中（V/W）：待定
- 在10 MPa氦气中（V/W）：待定
时间常数
- 在空气中（毫秒）：9
- 在真空中（毫秒）：36
稳定性
- 短期稳定性，1天（ppm）：1
- 长期稳定性，1年（ppm）：300
热阻
- 膜（kK/W）：100
- 膜 + 空气（kK/W）：23
最大加热电压
- 在空气中（V）：2.5
- 在真空中（V）：1
一些应用
• 氢气、氦气和天然气测量
• 氢气系统与氦气测试
• 包装和真空系统中的真空测量
• 气体浓度测量
工作原理
XEN-3920通过测量热电堆中心膜的热电接点与芯片框架上的冷接点之间的热阻来进行测量。这是通过使用加热电阻加热膜中心来实现的。膜中心的温度增加由热电堆测量。实际的温度增加取决于膜中心与周围环境之间的有效热阻，这受到环境气体热阻的影响。
外壳
XEN-3920-P2RW 或 P3RW可安装在TO-5封装中，特殊外壳可根据要求提供。右侧膜标记为-r，左侧膜标记为-l
https://www.bihec.com/xensor-nl/Xensor,XEN-3920-P2RW,XEN-3880P3RW,热导率计/
https://www.bilibili.com/opus/1020340021715009542
