Xensor,XEN-3920,热导率计

Xensor,XEN-3920,热导率计,XEN-3920热导率计用于测量周围气体的热导率。它基于气体在热导率上的差异原理,可以用于测量二元混合气体或准二元混合气体中的气体浓度,前提是混合气体的组成气体具有不同的热导率。它还可以作为Pirani计用于测量真空系统中的压力。

传感器芯片由一个硅环和两个氮化硅膜组成。每个膜的中心都有一个加热器,以及一个传感元件用于测量其温度。芯片测量的是环境与膜中心之间的热导率。

XEN-3920标准配置包括一个TO-5封装,封装内有芯片、覆盖芯片的硅盖以减少对气流效应的敏感性,以及焊接在TO-5外壳上的带过滤器的盖子。芯片旁边安装有一个Pt100或Pt1000温度传感器,用于测量环境温度。

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