荷兰Xensor XEN-3920热导计 Xensor 进口代理
荷兰Xensor XEN-3920热导计
Thermal Conductivity Gauge
XEN-3920热导计测量周围气体的热导率。根据气体导热系数不同的原理，它可用于测量成分气体导热系数不同的二元混合物或准二元混合物中的气体浓度。它也可以用作皮拉尼压力计来测量真空系统中的压力。
传感器芯片由一个带有两层氮化硅膜的硅边框组成。在每个膜的中心是一个加热器，用一个传感器元件测量它的温度。该芯片测量周围环境和膜中心之间的热传导。
标准XEN-3920由带芯片的TO-5接头、芯片上方的顶盖(硅盖)和焊在TO-5外壳上的带过滤器的盖子组成，顶盖用于降低对流动效应的敏感度。芯片旁边是Pt100或Pt1000，用于环境温度测量。
