FW 1710 吹扫流量计 吹扫型 特氟龙流量计（PFA 材质）
流量计的接液部及接口均为 PFA 材质，采用 PTFE 填料，具备优异的耐化学腐蚀性，是可实现小流量精准控制的半导体专用流量计。
特点
- 无颗粒物、无离子污染
- PFA 管连接式结构
- 可测量介质：气体、去离子水、化学品
- 体积小巧紧凑
- 所有产品均经过可靠性测试
- 内置流量调节针阀
- 可按客户需求定制流量测量范围
- 经去离子水超声波清洗，并在洁净室中真空包装
- 在百级洁净室环境中完成组装
应用领域
- 用于半导体旋涂蚀刻设备的微量化学品、去离子水的流量测量与控制
- 半导体湿法工艺设备
- 高纯化学品与去离子水场景
- 小型实验室高纯液体测量
- 使用高纯度流体的微生物学、化学及医学相关领域
技术参数：
- 测量误差：±3% 满量程
- 工作压力：最大 3 bar
- 工作温度：最高 50 ℃
