WooilFlucon FW6600 数字式气体流量调节计 流量调节数字气体流量计 MEMS传感器流量测量 流量精密控制 半导体设备流量测量

FW 6600 数字式气体流量调节计

产品类型

流量调节数字气体流量计

规格书

[DigitalFlowMeter-FW6600.pdf]

产品说明

采用 MEMS传感器 进行流量测量

特点

  • 适用于 Air(空气)、N₂、O₂、Ar、CO₂ 等气体

  • 内置阀门型

  • 配备用于流量调节的 针阀(Needle Valve)

  • 支持流量水平监控的 报警输出

  • 可定制 用户指定流量测量范围

  • 电源:3.6 ~ 24V DC(50mA)

应用领域

  • 半导体设备及研究设备的气体管路

  • 通过自带针阀实现 流量精密控制

  • 适用于 小型实验室 等公用设施流量测量

  • 各类 检测设备的采样管路 流量测量及控制

  • 微生物、化学、制药 等高纯度流体应用领域

技术规格

  • 适用气体:Air、N₂、O₂、Ar、CO₂

  • 流量范围

    • Air、N₂、O₂、Ar:1、2、5、10、20、50、70 SLPM(标准升/分钟)

    • CO₂:1、2、5、10、20、40 SLPM

  • 精度:±2.0% F.S

  • 重复性:0.5% F.S

  • 工作温度:-10 ~ +55℃

  • 最大耐压:1.0MPa

  • 电源供应:3.6 ~ 24V DC(50mA),锂电池 ER14250

  • 数字输出:RS485 Modbus(半双工)


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