FW 6600 数字式气体流量调节计
产品类型
规格书
[DigitalFlowMeter-FW6600.pdf]
产品说明
采用 MEMS传感器 进行流量测量
特点
适用于 Air(空气)、N₂、O₂、Ar、CO₂ 等气体
内置阀门型
配备用于流量调节的 针阀(Needle Valve)
支持流量水平监控的 报警输出
可定制 用户指定流量测量范围
电源:3.6 ~ 24V DC(50mA)
应用领域
半导体设备及研究设备的气体管路
通过自带针阀实现 流量精密控制
适用于 小型实验室 等公用设施流量测量
各类 检测设备的采样管路 流量测量及控制
微生物、化学、制药 等高纯度流体应用领域
技术规格
适用气体:Air、N₂、O₂、Ar、CO₂
流量范围:
Air、N₂、O₂、Ar:1、2、5、10、20、50、70 SLPM(标准升/分钟)
CO₂:1、2、5、10、20、40 SLPM
精度:±2.0% F.S
重复性:0.5% F.S
工作温度:-10 ~ +55℃
最大耐压:1.0MPa
电源供应:3.6 ~ 24V DC(50mA),锂电池 ER14250
数字输出:RS485 Modbus(半双工)