FW 4600 数字式气体微流量调节计
产品类型
规格书
[FW4600_2024.12.pdf]
产品说明
采用 MEMS技术 的微量气体流量调节计（阀门型）。
接触流体部分：SUS316不锈钢
外观：阳极氧化铝处理，精致小巧的机身
适用于 Air（空气）、N₂、O₂、Ar、He、CO₂ 等气体的微量流量控制
特点
100% 一对一流量校准
配备 流量调节针阀（Needle Valve）
支持 流量水平监控报警输出
可定制 用户指定流量测量范围
应用领域
半导体设备及研究设备的气体管路
通过自带针阀实现 流量精密控制
小型实验室 公用设施流量测量
各类 检测设备的采样管路 流量测量及控制
微生物、化学、制药 等高纯度流体应用领域
技术规格
适用流体：气体（N₂、Air、O₂、Ar、He等）
测量流量范围（气体）：
0~500 SCCM（标准毫升/分钟）
0~1 LPM（升/分钟）
0~2 LPM
0~5 LPM
测量误差：±3% 满量程（F.S）
工作压力范围：最大 1MPa（10kg/cm²）
工作温度范围：-10 ~ +55℃
