All PFA流量计，折药部和taper tube为PFA，具有卓越的耐化学性和PFA welding，适用于需要各种化学和耐化学性的设备。
-一个简单的结构
-没有粒子发生和离子污染
-卓越的耐化学性
– PFA welding结构leak free
-最适合于HF等所有化学的流量测量和控制。
-安装Panel mounting
-流量级别监视的alarm输出
-用DI water进行超声波清洗，在clean room进行真空包装。
-在洁净室组装
-用于Wet process的半导体设备的化学补给线
– HF euching，清洁设备的流量测量
-高频的流量测量
-测量不能使用Glass的chemical的流量
-测定超纯、高纯化学的流量
-应用流体:液体(viscosity 5.0cP)
-测量流量:Water – Min 50cc/min、Max 2LPM
-测量误差:3%全比例
-使用压力:Max 3 bar
-使用温度:Max 70℃
