All PFA流量计由PFA接液部和PFA锥管组成,具有卓越的耐火学性能,可适用于所有种类的化学,是需要耐火学性能的设备的理想流量计。
-没有粒子发生和离子污染
-最适合各类化学计量和控制流量
-外部组件用全铁铸造防腐蚀。
-以水为基准,流量可测量到10~100 liter/min
-安装Panel mounting
-流量级别监视的alarm输出
-用DI water进行超声波清洗,在Clean room进行真空包装。
-在洁净室组装
-用于Wet process的半导体设备的化学补给线
–高纯度化学药品的流量测量
-流量测量和用自近邻精确控制流量
-测量不能使用Glass的chemical的流量
-用于化学供应链供应设备
-应用流体:液体(visosity 5.0cP)
-测量流量:Water – Min 50 LPM/Max 100 LPM
-测量误差:3%全比例
-使用压力:Max 3 bar
-使用温度:Max 70℃