All PFA流量计由PFA接液部和PFA锥管组成，具有卓越的耐火学性能，可适用于所有种类的化学，是需要耐火学性能的设备的理想流量计。
-没有粒子发生和金属污染
-最适合各类化学计量和控制流量
-外部组件用全PFA coating防止腐蚀
-以水为基准，流量可测量到3-50LPM
-安装Panel mounting
-流量级别监视的alarm输出
-用DI water进行超声波清洗，并在Clean room进行真空包装。
-在洁净室组装
-用于Wet process的半导体设备的化学补给线
–高纯度化学药品的流量测量
-应用流体:液体(viscosity 5.0cP)
-测量流量:Water – Min 3 LPM/Max 50 LPM
-测量误差:3%全比例
-使用压力:3 bar
