FFA或PVC使用了接液部和外观,taper tube是一种中等容量的流量计,旨在使用borosilicate系glass,
-以水为基准,可测量3~10 LPM的中流量
-安装用于调节流量的近电压
-优秀的耐化学性
-流量级别监视的alarm输出
-前后都可进行panel mounting
-制作订购者规格的流量测量范围。
-用DI water进行超声波清洗,在clean room进行真空包装。
-在洁净室组装
-半导体Wet process设备的DI water、化学补给线
-流量测量和用自近邻精确控制流量
-流体连接口可使用多种材料制造,不区分Gas和Liquid。
-应用流体:气体、液体(viscosity 5.0cP)
-测量流量:
Water – Min 3LPM/Max 10LPM
Gas – Min 50LPM/Max 200LPM
-测量误差:3%全比例
-最大使用压力:10 Bar (1.0Mpa)
-破裂压力:25 Bar
-使用温度:0 ~ 50(90)℃