WooilFlucon FVMT2120 高纯手动隔膜阀 超纯流体控制 微流量控制 整体PFA流道结构 增强型PTFE隔膜 显影液/刻蚀液控制

FVMT 2120 高纯手动隔膜阀

核心规格参数

参数类别标准模式(PP材质)高温模式(PPS材质)技术亮点
通径尺寸Ø6mmØ6mm纳米级流道抛光
流量系数Cv=0.35Cv=0.28压损降低48%
工作温度5~80℃5~120℃瞬时耐温150℃
工作压力0~0.5MPa0~0.3MPa爆破压力2.0MPa
反向耐压0~0.5MPa0~0.2MPa零泄漏设计
表面处理Ra≤0.1μmRa≤0.08μm超越SEMI F57标准

产品核心优势

  1. 超纯流体控制

  • 整体PFA流道结构(金属含量<0.05ppb)

  • 通过FDA 21 CFR 177.2600认证

  • DI水超声波清洗+真空包装

  1. 军工级可靠性

  1. 精密调节系统

  • 1/8圈精密调节机构

  • 带可视流量刻度窗

  1. 全球认证

  • CE/UL/SEMI F57

  • ASME BPE-2019

典型应用场景

选型建议

  1. 腐蚀性介质

  • 推荐配置:红宝石阀座+钽金属弹簧

  • 启用”化学增强模式”

  1. 无菌环境

  • 选择电抛光版本(Ra≤0.05μm)

  • 配套蒸汽灭菌功能

  1. 微流量控制

  • 加装层流适配器

  • 选用精密调节手柄


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