WooilFlucon FVAT2150 气动隔膜阀 专为3/4″工业管道设计 全PFA流道 军工级PTFE隔膜 大流量高纯度流体控制

FVAT 2150 气动隔膜阀

产品核心定位

FVAT 2150是专为3/4″工业管道设计高性能气动隔膜阀,采用全PFA流道军工级PTFE隔膜,通过1000万次机械寿命测试,满足半导体、生物制药等领域对大流量高纯度流体控制的严苛要求。

技术参数对比表

关键指标标准工况高温工况技术优势
通径尺寸Ø16mmØ16mm流量提升120%
流量系数(Cv)5.9344.8压损降低65%
工作温度5~80℃5~120℃瞬时耐温170℃
正向耐压0~0.5MPa0~0.3MPa爆破压力2.8MPa
反向耐压0~0.3MPa0~0.2MPa零泄漏设计(氦检漏)
驱动气压0.5~0.6MPa0.5~0.6MPa低功耗设计(<8W)
响应时间NC型≤80msNO型≤120ms大流量阀领先水平
表面粗糙度Ra≤0.1μmRa≤0.08μm超越SEMI F57标准

六大核心优势

  1. 超大流量设计

  2. 超长使用寿命

    • 1000万次机械寿命测试(等效15年连续使用)

    • 纳米纤维增强隔膜(耐疲劳性提升600%)

  3. 智能控制系统

    • 三色LED状态指示灯(红/黄/绿)

    • 可选配数字流量传感器(RS485+4G输出)

  4. 超净材料系统

    • 全PFA流道(金属含量<0.03ppb)

    • 通过FDA 21 CFR 177.2600认证

  5. 快速维护设计

    • 独创快拆结构(维护时间<5分钟)

    • 模块化组件设计

  6. 全球认证体系

    • CE/UL/ATEX Zone 2

    • SEMI F57/ASME BPE

行业应用方案

应用领域解决方案
半导体湿法设备特氟龙涂层流道(金属离子<0.008ppb)
LCD刻蚀线钽金属弹簧组件(耐氢氟酸混合液)
疫苗生产全焊接无菌结构(支持在线蒸汽灭菌)
光伏制绒高频响应版本(切换速度达12Hz)

选型指南

  1. 腐蚀性介质选配

    • 必选:红宝石阀座+哈氏合金弹簧

    • 推荐:启用”化学增强模式”

  2. 无菌环境要求

    • 选择三重电抛光版本(Ra≤0.05μm)

    • 配套提供USP Class VI认证

  3. 高频应用场景

    • 加装气动加速模块

    • 选用碳化硅导向组件


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