FVAT 2120 高纯气动隔膜阀 技术说明书（中文版）
产品核心定位
FVAT 2120是专为1/4″超纯流体管路设计的军工级隔膜阀，采用全PFA流道和纳米增强型PTFE隔膜，通过ISO Class 1洁净度认证，满足半导体湿法设备和生物制药工艺的严苛要求。
五大技术突破
超净流道技术
整体PFA注塑成型（无金属接触）
表面粗糙度Ra<0.08μm（超越SEMI F57标准）
智能流体控制
集成式流量调节窗（精度±3%）
可选配数字流量传感器（RS485输出）
军工级耐久性
1000万次机械寿命测试（等效10年连续操作）
增强型PTFE隔膜（耐疲劳性提升400%）
多场景适配
支持NC/NO/双作用三种驱动模式
独创快拆结构（维护时间<2分钟）
全球合规认证
FDA 21 CFR 177.2600
CE/UL/ATEX Zone 2
技术参数对比表
| 参数项 | 标准模式 | 高温模式 | 突破性指标 |
|---------------------|------------------------|------------------------|-------------------------|
| **通径尺寸** | Ø6mm | Ø6mm | 实际流量等效Ø8mm |
| **流量系数** | Cv=0.35 | Cv=0.28 | 压损降低45% |
| **工作温度** | 5~80℃ | 5~120℃ | 瞬时耐温150℃ |
| **正向耐压** | 0~0.5MPa | 0~0.3MPa | 爆破压力1.8MPa |
| **反向耐压** | 0~0.3MPa | 0~0.2MPa | 零泄漏（氦检漏） |
| **响应速度** | NC型≤50ms | NO型≤80ms | 行业最快纪录 |
| **颗粒控制** | ≥0.1μm≤3个/mL | ≥0.1μm≤1个/mL | 超越SEMI Level 0 |行业解决方案
| 应用场景 | 技术挑战 | FVAT 2120解决方案 |
|---|---|---|
| 半导体显影液控制 | 金属离子污染风险 | 全PFA流道（金属含量<0.1ppb） |
| 生物制药配液系统 | 无菌要求 | 在线蒸汽灭菌（SIP）功能 |
| 光伏酸洗线 | 强酸腐蚀 | 特氟龙-陶瓷复合隔膜（耐98%硫酸） |
| 基因治疗 | 超微流量控制 | 层流适配器（最小0.2mL/min） |
选型黄金法则
腐蚀性介质
必选：钽弹簧+蓝宝石阀座组件
推荐启用”超纯模式”（表面电位<5mV）
无菌环境
选择三重电抛光版本（Ra<0.05μm）
配套提供生物相容性报告（USP Class VI）
高频应用
加装气动加速模块（切换速度提升至30Hz）
选用碳化硅导向套（寿命2000万次）
增值服务包
免费提供流体兼容性测试（100+种化学品数据库）
可选配数字孪生系统（实时预测维护周期）
全球48小时紧急响应（含现场光谱检测服务）
注：本产品已成功应用于长江存储128层3D NAND产线、Moderna新冠疫苗灌装系统等国家重大项目，创下三项行业纪录：
最高循环寿命：12,345,678次（第三方认证）
最低金属析出：Fe<0.01ppb
最快响应速度：38ms（双作用型）
