FVAT 2020 气动隔膜阀
产品定位
FVAT 2020是一款1/4″管径的高纯度气动隔膜阀，专为半导体湿法设备和生物制药领域的超净流体控制设计，通过1000万次寿命测试，满足Class 100洁净室标准。
五大技术亮点
超净材料体系
军工级可靠性
1000万次循环测试（等效10年连续操作）
超大流量设计（Cv=0.35，压损降低40%）
智能驱动配置
可选NC/NO/双作用三种气动模式
集成可视流量调节窗（精度±5%）
零污染处理
三级清洗工艺（脱脂→DI水超声→真空包装）
颗粒控制：≥0.1μm颗粒<5个/mL
模块化连接
支持卡套/扩口/PT螺纹三种接口
快拆式结构（维护时间<3分钟）
行业解决方案
| 应用场景 | 关键需求 | FVAT 2020解决方案 |
|---|---|---|
| 半导体显影设备 | 纳米级颗粒控制 | 全PFA流道+激光焊接工艺（Ra<0.2μm） |
| LCD刻蚀线 | 耐强酸长期浸泡 | 特氟龙增强隔膜（耐98%硫酸@80℃） |
| 生物制药配液系统 | 无菌要求 | 蒸汽灭菌版本（可耐受121℃ SIP） |
| 光伏清洗机 | 高频切换（1Hz） | 优化气路设计（响应时间<50ms） |
技术参数详表
| 参数项 | 标准模式 | 高温模式 |
|---------------------|------------------------|------------------------|
| **通径尺寸** | Ø6mm | Ø6mm |
| **流量系数** | Cv=0.35 | Cv=0.28 |
| **工作温度** | 5~80℃ | 5~120℃ |
| **正向耐压** | 0~0.5MPa | 0~0.3MPa |
| **反向耐压** | 0~0.5MPa | 0~0.2MPa |
| **驱动气压** | 0.4~0.6MPa | 0.4~0.6MPa |
| **泄漏等级** | ANSI/FCI 70-2 Class VI | 零泄漏（气泡法检测） |
| **洁净度等级** | SEMI F57 Level 1 | ISO Class 1 |选型指南
腐蚀性介质
选配钽弹簧版本（耐盐酸/氢氟酸混合液）
启用”Chemical Mode”延长隔膜寿命30%
无菌环境
选择电抛光版本（Ra<0.1μm）
配套使用EPDM密封圈（耐伽马射线灭菌）
高频应用
建议加装气动加速器（切换速度提升至20Hz）
选用低摩擦系数导向套（寿命提升至2000万次）
增值服务
免费提供萃取物测试报告（USP <661>合规）
可选配数字孪生模型（预测维护周期）
