采用蝶形和外观为SUS316，流量仪表用taper tube采用borosilicate系glass，是专为使用各种腐蚀性gas、chemical和DI water而设计的中等容量流量计。
– Buffing处理的无状态body和模糊的Al frame
-以水为基准，可测量20L/min的中流量
-安装用于调节流量的近电压
-硼硅酸盐类的优良耐化学性和抗冲击性
-流量级别监视的alarm输出
-前后都可进行panel mounting
-制作订购者规格的流量测量范围。
-用DI water进行超声波清洗，在clean room进行真空包装。
-在洁净室组装
-半导体设备的DI water、gas、chemical供应线
-流量测量和用自近邻精确控制流量
-测量小型研究所等实用程序的流量
-高纯度、腐蚀性流体使用装置，如Gas purifier和Gas scrubber
-微生物、化学、医药等高纯度流体使用领域
-应用流体:气体、液体(viscosity 5.0cP)
-测量流量:
Water – Min 5LPM/ Max 20LPM
Gas – Min 50LPM/ Max 600LPM
-测量误差:3%全比例
-最大使用压力:10 Bar (1.0Mpa)
-破裂压力:25 Bar
-使用温度:0 ~ 90℃
