FVAT 2130 气动隔膜阀
产品核心优势
FVAT 2130是专为3/8″工业管路设计的高性能气动隔膜阀，采用全氟化流道和军工级PTFE隔膜，通过1000万次机械寿命测试，满足半导体和生物制药领域对超净流体的严苛控制需求。
技术参数详情
| 关键指标 | 标准工况 | 高温工况 | 技术突破 |
|---|---|---|---|
| 通径尺寸 | Ø6mm | Ø6mm | 流体效率提升40% |
| 流量系数(Cv) | 0.8 | 0.65 | 压损降低55% |
| 工作温度 | 5~80℃ | 5~120℃ | 瞬时耐温150℃ |
| 正向工作压力 | 0~0.5MPa | 0~0.3MPa | 爆破压力2.0MPa |
| 反向工作压力 | 0~0.3MPa | 0~0.2MPa | 零泄漏设计 |
| 驱动气压 | 0.4~0.6MPa | 0.4~0.6MPa | 低功耗设计(＜3W) |
| 响应时间 | NC型≤60ms | NO型≤90ms | 行业领先水平 |
| 表面粗糙度 | Ra≤0.1μm | Ra≤0.08μm | 超越SEMI F57标准 |
核心特点
超净材料系统
全PFA流道结构（耐98%硫酸/49%氢氟酸）
纳米增强PTFE隔膜（通过FDA 21 CFR 177.2600认证）
智能控制系统
三色LED状态指示（红/黄/绿）
可选配IoT模块（支持4G远程监控）
军工级可靠性
加速寿命测试等效15年使用
专利防结晶设计（适用于CMP浆料）
行业应用方案
| 应用领域 | 解决方案 |
|---|---|
| 半导体湿法设备 | 特氟龙涂层流道（金属含量＜0.05ppb） |
| LCD刻蚀线 | 钽金属弹簧组件（耐强酸强碱） |
| 疫苗生产 | 全焊接无菌结构（可在线蒸汽灭菌） |
| 光伏制绒 | 高频响应版本（切换速度达20Hz） |
选型指南
腐蚀性介质选配
必选：红宝石阀座+哈氏合金弹簧
推荐：启用”化学增强模式”
无菌环境要求
选择三重电抛光版本
配套提供生物相容性报告
高频应用场景
加装气动加速器
选用碳化硅导向组件
