无状态材料的低成本大容量流量计
用简易结构的低价型开发的流量计，折叠部使用SUS316材料，塔伯管使用borosilicate glass。
使用后可用于各种gas和chemical，特别是以水为基准的100liter/min的大容量流量计。
-以水为基准测量到100 liter/min的大流量
-一个简单的结构
– Gas、chemical、pcw对应
-硼硅酸盐类的优良耐化学性
-流量级别监视的alarm输出
-允许各种连接方向和线性管路
-制作订购者规格的流量测量范围。
-用DI water进行超声波清洗，并在clean room进行真空包装。
-在洁净室组装
-半导体、LCD设备的gas、chemical供应线
-高压力的PCW线
– 100liter/min大流量设备
-降低设备成本
-各种角度的管道结构流量计
-应用流体:气体、液体(viscosity < 5.0cP)
-测量流量:
Water – Min 30LPM / Max 100LPM
Gas- Min 700LPM / Max 2000LPM
-测量误差:3%全比例
-最大使用压力:10 bar (1.0Mpa)
-破裂压力:87 bar
-使用温度:Max 0~90℃
