以简易结构的低价型开发的流量计,折流杆使用SUS316材料,tube是使用borosilicate glass的中容量流量计,通过多种连接方向选择,可以从多个角度管道。
– Buffing处理的无状态body
– Gas、chemical、PCW对应
-硼硅酸盐类的优良耐化学性
-流量级别监视的alarm输出
-允许各种连接方向和线性管路
-制作订购者规格的流量测量范围。
-用DI water进行超声波清洗,并在clean room进行真空包装。
-在洁净室组装
半导体、LCD设备的gas、化学补给线
高压力的PCW线
降低设备成本
各种角度管道结构流量计
-应用流体:气体、液体(viscosity 5.0cP)
-测量流量:
Water – Min 3 LPM/ Max 20 LPM
Gas – Min 50 LPM/ Max 600 LPM
-测量误差:3%全比例
-最大使用压力:10 bar (1.0Mpa)
-破裂压力:87 bar
-使用温度:Max 90℃